Линза для управления излучением в виде потока нейтральных или заряженных частиц, способ изготовления таких линз и содержащее такие линзы аналитическое устройство, устройство для лучевой терапии и устройства для контактной и проекционной литографии
Изобретения относятся к средствам для дефектоскопии и диагностики в технике и медицине, устройствам для лучевой терапии и литографии. Технический результат - увеличение степени фокусирования излучения линзой, обеспечение возможности использования частиц более высоких энергий и повышение зависящих от указанных факторов показателей устройств, использующих линзы для управления излучениями вы...