Способ изготовления пленочного материала на основе смеси фаз vox, где x=1,5-2,02
Изобретение относится к области изготовления тонкопленочных материалов и может быть использовано для создания полупроводниковых приборов, в частности тепловых приемников. Способ включает термовакуумное напыление ванадия на подложку при комнатной температуре с последующим окислением на воздухе до образования оксидной пленки. Напыление ванадия, толщиной 30≤d≤40 нм, легированного примесями W, Si, Al,...
