Электродный узел для высокочастотного распыления
. 1 ОПИСАНИЕ(5312l8 ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистимеских Республик К АВТОРСКОМУ СВИДИТИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.06.73 (21) 1930267/25 (51) M. Кл. Н01 J19/62 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.10.76. Бюллетень № 37 (53)- УДК 621-385 (088.8) (45) Дата опубликования описания14.04.77 Государственный комитет...