Катод для распыления или электродугового испарения (варианты) и устройство для покрытия или ионной имплантации подложек
Изобретение относится к физике, а именно к катодам магнетронов. Описан линейный катод магнетрона, который может использоваться как источник пара или плазмы для осаждения покрытия или ионной обработки. Катод имеет форму удлиненного прямоугольного стержня с испарением материала, происходящим с испаряемой поверхности, расположенной по периферии стержня, по двум противоположным сторонам и вок...