H01J27/04 - с использованием отражательного разряда, например ионные источники Пеннинга

Источник ионов

1. ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержа- !дий газоразрядную камеру, ограничен- ;ную боковой, торцовой стенками и • антикатодом с отверстиями, внутри которой установлены тёрмокатод, анод и кольцевые намагниченные в радиальном направлении магниты, расположенные вдоль боковой стенки камеры с последовательным чередованием полюсов, основной источник питаниявразряда, отрицательный полюс которого сое...

818366

Источник ионов

ИСТОЧНЖ ИОНОВ, содержащий газоразрядную камеру, включающую т ермокатод , анод, экранный электрод с , экстрагирующим отверстием, средство создания магнитного поля в камере и систему ускорения осесимметричного пучка ионов, отличающийс я тем, что, с целью првьшения плотности ионного тока пучка, газог разрядная камера вьтолнена в виде тора прямоугольного сечения, ось симметрии которо...

849920

Источник отрицательных ионов

ИСТОЧНИК ОТРИЦАТЕЛЬНЫХ ИОНОВ , содержащий газоразрядную камер с, эмиссионной щелью в стенке и газо разрядной ячейкой с устройством подачи рабочего вещества и цезия, отличающийся тем,что, с целью увеличения ресурса работы, повышения устойчивости режимов с эффективной генерацией ярких пучков отрицательных ионов и упрощения конструкции источников, газоразрядная ячейка образована сте...

854197

Источник ионов

1. ИСТОЧНИК ИОНОВ содержащий газоразрядную камеру и систему формирования ионного пучка, образованную перфорированными эмиссионным, ускоряющим и кольцевым замедляющим электродами, о тличающийс я тем, что, с целью повышения наг дежности источника при работе на химических активных газах, ускоряющий электрод дополнительно содержит со стороны замедляющего электрода цилиндрическую част...

908193

Ионно-лучевая установка

ИОННО-ЛУЧЕВАЯ УСТАНОВКА, содержащая газоразрядный источник ионов, включающий полый катод,анод, коллектор ввода рабочего газа, электромагнит, экранный, ускоряющий и замедляющий электроды, систему рабочего газа, включающую устройства подачи рабочего газа в полый катод и в коллектор источника, систему электропитания источника, состоящую из источника разрядного напряжения и источнико...

961489

Ионная пушка

ИОННАЯПУШКА на основе высоковольтного отражательного тетрода, содержащая корпус, катод, анод, установленный на высоковольтном вводе , и соленоид,для создания магнитного поля в зазоре катодом и анодом, отличающаяся тем, что, с целью повышения длительности рабочего импульса, введена система импульсной подачи газа, анод и -катод выполнены в виде трубопроводов одинаковой длины,электр...

986225

Ионная пушка

ИОННАЯ ПУШКА на основе отражательного тетрода, содержащая анод, катод и охватывающий их соленоид , отличающаяся тем, что, с целью расширения круга рабочих веществ, в нее введена система импульсной подачи газа, выполнен в виде трубчатого газораспределителя , в стенке которого в плоскости , параллельной поверхности катода, расположены каналы в виде сопел Лаваля, а система импульсно...

988111

Источник ионов

1 .ИСТОЧНИК ИОНОВ,содержащий газоразрядную камеру, образованную цилиндрической боковой, запней и перфорированной передней стенками, выполненными из немагнитного матеоиала , ВНУТРИ котооой оазмещены катод и анод, ионно-оптическую систему, установленную со стороны передней стенки камеры, внешнюю по отношению к камере многополюсную магнитную систему, полюса которой расположены вдоль...

1040543

Источник ионов

ИСТОЧНИК ИОНОВ, преимуществ венно для обработки изделий в вакууме , содержащий магнитную систему тороидальной формы с кольцевым межполюсным зазором, анод, расположенный внутри магнитной системы зквидистактно межполюсному зазору, катод и источник питания разряда, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью повышен:; ния однородности пучка ионов на выходе из источника, с одной стороны...

1097120

Источник ионов

(19)RU(11)1144548(13)C(51) МПК 6 H01J27/04Статус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: учтена за 1 год с 29.06.1993 по 28.06.1994(54) ИСТОЧНИК ИОНОВ Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков и может быть использовано для получения тонких пленок различных материалов, для ионного и ионно-химического травления и очистки...

1144548

Источник ионов

1. ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий газоразрядную каиеру, в которой установлены анод, контрагирующая диафрагма и плоский катод с эмиссионным отверстием, а также систему подачи рабочего газа, о т л и ч аю щ и и с я тем, что, с целью повы .9 шения КПД источника и устойчивости работы, введена магнитная система создания продольного магнитного поля , газоразрядная камера и контрагирующая ди...

1145383

Источник ионов

1. ИСТОЧНИК ИОНОВ преимущественно для масс-спектрометрии, содержащий катод, анод, систему формирования пучка ионов, систему подачи рабочего вещества и источник питания, отличающийся тем, что, с целью улучшения фокусировки пучка и : повышения его плотности, катод выполнен в виде диска, с отверстием на . оси, введен электрод-коллектор электронов , соосный отверстию в катоде, анод в...

1187623

Устройство для ионно-лучевой обработки

(19)SU(11)1210607(13)A1(51) МПК 6 H01J37/08, H01J27/04(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков с большим поперечным сечением и может быть использовано для различных технологическ...

1210607

Источник ионов

СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕа1УБЛИН „„SUÄÄ 1218424 A (д) 4 Н 01 J 27/04 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ вЂ” вЂ” вЂ” глчл ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ H АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ ,vr Jl:i 3 Тд "; f ре. (21) 3768919/24-25 (22) 23.07.84 (46) 15.03.86. Яюл. 11- 10 .(72) 1.Н.Маков (53) 621.385 (088.8), ;(56) АЛ;Forrester, D.М. oebe1 and :Т.T.arrow "...

1218424

Способ получения высокозарядных ионов

СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕаЪВЛИН „„SU„„ I 225420 (51)4 Н 01 J 27/04 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР . ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ NSOEPETEHHP,: .И АВ 7СРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (46) 07.12.89. Бюл. У 45 (21) 3764533/24=25 (22) 02.07.84 (71) Объединенный институт ядерных исследований (72) Е.Д.Донец и Г.Д.Ширков (53) 625.381(088.8) (56) Авторское свидетельство СС...

1225420

Источник ионов дуоплазматрона

СОЮЗ СОВЕТСНИК СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИК ÄÄSUÄÄ 1233714 (дР,1 Н 01 3 27/04 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ М СО СО 4 Вй ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTkPblTHA (46) 15.05.88. Бюл. У 18 (21) 2194347/24-25 (22) 01. 12. 75 (72) В. В. Нижегородцев (53) 62 1.385 (088.8) (56) Димов P.H, Савченко О.Я. Мощный импульсный источник нейтральных...

1233714

Источник ионов

(19)SU(11)1245152(13)A2(51) МПК 6 H01J27/04(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) ИСТОЧНИК ИОНОВ Изобретение относится к устройствам для получения нейтрализованных пучков ионов различных газов, включая химически активные, и может быть использовано для различных технологических о...

1245152

Источник ионов

ИСТОЧНИК ИОНОВ с продольным магнитным полем, содержащий разрядную камеру с установленными в ней катодом, анодом, тиглем и паропроводом, выход которого расположен вблизи катода, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, на выходе паропровода установлена пластина из теплопроводящего тугоплавкого материала, электрически соединенная с катодом. Изобретение относится к ионно-плазменн...

1269688

Импульсный источник отрицательных ионов

Изобретение относится к технике получения ионных пучков. Целью изобретения является снижение удельных энергозатрат на получение ионов. Источник электронов 1 и ускоряющий электрод 2 имеют форму цилиндров. Пучок электронов фокусируется на ось 0 и тормозится в поле отражательного электрода 3. Извлечение ионов осуществляется через сетчатый электрод 7. Ускоряющий электрод имеет прозрач...

1517075

Источник ионов

Изобретение относится к источникам ионов водорода и его изотопов преимущественно для инжекторов установок термоядерного синтеза. Цель изобретения - снижение удельных энергозатрат. Между анодом 1 и катодом 2 горит разряд. Образующиеся ионы извлекаются через щели между проводниками эмиссионного электрода 3. Эмиссионный электрод 3 подключен к положительному полюсу источника 6. Провод...

1520608

Источник ионов металлов

Изобретение относится к ионно-плазменной технике и предназначено для генерирования ионов в технологическом оборудовании. Источник содержит катод, изолятор, поджигающий электрод, анод, сопло, ускоряющий электрод, подключенные к источникам питания. В предлагаемом источнике ионов реализуются принципиально новые для данного класса приборов физические процессы, а именно формирование плазмы в с...

1588196

Широкоапертурный источник ионов

Изобретение относится к технике генерирования ионных пучков и может быть использовано в различных технологических операциях по воздействию ионного пучка на поверхность обрабатываемого изделия. Цель изобретения - повышение эффективности извлечения потока ионов и увеличение ресурса за счет снижения величины разрядного тока. Широкоапертурный источник ионов содержит основную и вспомогательную...

1598757

Импульсный источник ионов

Изобретение относится к источникам ионов, используемым в термоядерных установках, ускорителях заряженных частиц и в технологических установках,, Целью изобретения является повышение эффективности извлечения и увеличение фазовой плотности потока vjoiioBo Устройство содержит разрядную камеру, в которой установлены .электрически изолированные полый холодный катод и анод, выполненный...

1625257

Источник ионов

Изобретение относится к технике создания интенсивных квазистационарных ионных пучков и может быть использовано в установках вакуумной ионно-лучевой обработки материалов. Целью изобретения является повышение надежности работы и качества фокусировки. Источник ионов содержит разрядную камеру 1 с выходным электродом 2, ускоряющую систему 9, выполненную в виде отдельных элементов, кот...

1718297

Источник ионов

Использование: источники ионов, предназначенные преимущественно для использования в масс-спектрометрах при анализе массового состава твердотельных мишеней. Сущность изобретения: в источнике ионов расположены соосно и последовательно катодный узел с отверстием по оси, кольцеобразный анод, коллектор электронов, система извлечения ионов, источник питания. Источник ионов дополнительно снабжен...

1725687

H01J27/04 - с использованием отражательного разряда, например ионные источники Пеннинга

Патенты в этой категории