H01J27/26 - с использованием поверхностной ионизации, например ионные источники с эмиссией под действием поля, термоионные источники ионов (H01J 27/20,H01J 27/24 имеют преимущество)

Способ получения пучка ионов цезия

Изобретение относится к эмиссионной электронике и может быть использовано в технологии и экспериментальной технике. Цель изобретения - разработка способа получения узкого пучка ионов цезия однородного состава с малой угловой расходимостью без напуска паров цезия. Способ включает подачу цезия на острийный эмиттер, приложение к эмиттеру положительного электрического потенциала в вакууме, на...

1412516

Ионный источник масс-спектрометра

Изобретение касается масс-спектрометрии и может быть использовано для изотопного анализа образцов твердой фазы. Цель изобретения - повышение воспроизводимости результатов измерений. Источник содержит ленточный ионизатор, поворотный испаритель с числом лент равным числу наносимых образцов, нагреваемых тепловым излучением ионизатора, и вспомогательную ленту, параллельную рабочей ле...

1572327

Источник ионов натрия

Источник ионов натрия, содержащий активный элемент, служащий для диссоциации и ионизации паров натрия, вытягивающий и ускоряющие электроды, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, уменьшения габаритов, повышения эффективности извлечения ионов, повышения надежности за счет исключения присутствия в потоке ионов натрия ионов других элементов и нейтральных частиц и обеспечения в...

1797395

Источник ионов электрогидродинамического типа

Использование: микротехнология, ионная литография. Сущность изобретения: изобретение позволяет повысить стабильность характеристик ионного источника и увеличить срок его непрерывной работы. Источник содержит опорный высоковольтный изолятор (1), цилиндрическую стойку (2), управляющий электрод (3), фланец (4) с низковольтными электровводами (5), нагреватель (6), резервуар (7) с ионизуемым в...

1829746

Способ получения потока положительных ионов

Использование: ускорительная техника, реактивные двигатели, оборудование для технологических процессов. Сущность изобретения: поток положительных ионов получают путем приложения ускоряющего напряжения между твердотельным эмиттером, на поверхности которого выполнен по крайней мере один выступ, и электродом-экстрактором. В области выступа величину ускоряющего напряжения выбирают из соотноше...

2019880

Электрогидродинамический источник ионов

Использование: получение пучков заряженных частиц, в частности ионов, заряженных кластеров и микрокапель, получение субмикронных ионных пучков, а также для нанесения тонких пленок и покрытий кластерными и микрокапельными пучками. Сущность изобретения: уменьшение потерь рабочего вещества за счет уменьшения его испарения с боковой поверхности иглы, что особенно важно при работе с веществами...

2036531

Полевой ионный источник

Использование: электронная техника, в частности технологические устройства для осаждения многослойных тонкопленочных структур испарением исходных материалов в вакууме. Сущность изобретения: в зоне прямой видимости острия автокатода располагается карусель с размещенными на ней мишенями исходных испаряемых материалов, на поверхность которых в одной из позиций карусели может воздействовать с...

2071138

Способ получения пучка отрицательных ионов фуллеренов и/или их производных

Назначение: плазменная техника. Сущность изобретения: при получении пучка отрицательных ионов фуллеренов и/или их производных осуществляют испарение фуллеренов и/или их производных, ионизацию и извлечение ионов для формирования пучка. Испарение осуществляют из внутренней эффузионной ячейки, помещенной во внешнюю эффузионную ячейку, а ионизацию проводят при контакте паров фуллеренов с внут...

2074451

Источник интенсивных ионных пучков

Использование: в ускорительной технике и в технологических процессах при имплантации, нанесении покрытий. Сущность изобретения заключается в введении жидкого диэлектрика в конструкцию источника ионов, что позволяет повысить интенсивность генерируемого пучка заряженных частиц за счет концентрации электрического поля на возникающих неоднородностях поверхности эмиттера и ионизации паров жидк...

2075132

Способ получения отрицательных ионов в поверхностно- плазменных источниках

Изобретение относится к поверхностно-плазменным источникам отрицательных ионов, а именно к способам получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках, и может быть использовано в ускорителях заряженных частиц или устройствах для осуществления термоядерного синтеза. Способ получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках заключается в том, что в качестве...

2109367

Эмиттер заряженных частиц

Изобретение относится к электронике и может быть использовано в качестве источника интенсивных электронных потоков, а также в качестве источника ионов. Техническим результатом является обеспечение стабильных эмиссионных свойств эмиттера, в результате чего он может быть источником мощных токов электронов и ионов как в импульсном режиме, так и в режиме постоянной эмиссии. Эмиттер заряженных...

2143766

Способ получения ионных пучков щелочных металлов

Изобретение относится к получению ионных пучков и может быть использовано в ускорительной технике, масс-спектрометрии и т.п. Способ включает нагрев двух солей металла, а именно галогенидов, карбонатов или нитратов, до температуры испарения в вакууме, подведение полученных паров по трубке к нагретой до температуры ионизации щелочного металла поверхности вольфрамого ионизатора. При этом соо...

2148870

Автоэмиссионный источник ионов с пониженным рабочим напряжением

Использование: ионные микроскопы, ионные реактивные двигатели, ускорители ионов, производство ядерных фильтров. Сущность изобретения: ионизацию атомов рабочего газа производят через слой молекул-посредников, напряженность электрического поля у свободных концов которых выше, чем средняя по поверхности электрода. Техническим результатом изобретения является снижение необходимой для работы и...

2206937

Способ получения потока положительных ионов

Изобретение относится к технике получения потока положительных ионов и предназначено для генерирования ионов в технологическом оборудовании. Техническим результатом изобретения является создание способа получения потока положительных ионов электропроводящих материалов при значительно меньших пороговых ускоряющих напряжениях и с увеличенным сроком службы эмиттера за счет исключения ускоренного изно...

2288520

Устройство создания ионных потоков

Изобретение относится к области создания полупроводниковых приборов методом легирования и предназначено для получения направленных потоков (пучков) ионов. Устройство создания ионных потоков состоит из вакуумной камеры с источником ионов и двух электродов, причем источник ионов выполнен в виде резервуара с жидкостью, внутри которого установлен электрод (анод). Электрод и стенки резервуара располож...

2389105

Высокотемпературный источник поверхностной ионизации

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для получения пучков ионов при разделении изотопов или масс-спектрометрии. Высокотемпературный источник поверхностной ионизации из монокристаллического материала с объемно-центрированной кубической решеткой снабжен цилиндрическим сквозным отверстием, которое выполнено вдоль кристаллографического направления [111] монокристалла. В...

2625728

Патенты в этой категории