Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты)
Сущность изобретения: устройство представляет собой жалюзную систему электродов, располагаемую на пути плазменного потока и подключенную к положительному выводу источника напряжения, вторым выводом подключенного к аноду дугового испарителя. Жалюзийные электроды выполнены в виде постоянных магнитов с проводящим покрытием, торцы которых с обеих сторон системы закрыты защитными экранами, эле...