H01J37/147 - устройства для направления или отклонения разряда вдоль требуемого пути (линзы H01J 37/10)

Фокусирующе-отклоняющая система устройства для электронно- лучевой литографии

ФОКУСИРУЩЕ-ОТКПОНЯЮЩАЯ СИСТЕМА УСТРОЙСТВА ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФИИ, содержащая соосно установленные магнитную фокусирукщую линзу с внутренним каналом в виде набора чередующихся магнит.ных и не1 шгнитных колец, лучепровод и размещенную в канале линзы систему отклой:ения электронного пучка, о т л и чающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции при уменьшении аберраций,...

1127023

Электромагнит для управления пучком (варианты) и способ управления пучком с его использованием

Изобретение относится к электромагнитам для отклонения и разделения пучка заряженных частиц и может быть использовано при вводе/выводе их в ускоритель. Технический результат заключается в упрощении управления путем исключения воздействия на ускорение пучка заряженных частиц на круговой орбите. Электромагнит с перегородкой разделен на первое пространство отклоняющего пучок магнитного полюс...

2222122

Электромагнитный фильтр для разделения электронных пучков

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и, в частности, к электромагнитным фильтрам, предназначенным для пространственного разделения пучков первичных и вторичных электронов. Фильтр содержит восемь секторных электродов, расположенных внутри цилиндра, выполненного из диэлектрического и немагнитного материала. Электроды изготовлены из ферромагнитного материала в виде восьми цилиндр...

2305345

Фокусирующе-отклоняющая система для электронных пушек

Изобретение относится к электронно-оптическим устройствам. Технический результат - расширение области применения фокусируще-отклоняющей системы для реализации различных технологических процессов обработки материалов электронным пучком. Система содержит магнитную фокусирующую линзу [1], состоящую из обмотки возбуждения [2], магнитопровода [3], колец [4] из магнитного аморфного сплава из тонкой лент...

2614046

H01J37/147 - устройства для направления или отклонения разряда вдоль требуемого пути (линзы H01J 37/10)

Патенты в этой категории