Устройство автоматической фокусировки изображения в растровом электронном микроскопе
ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (iii942189 (6 l ) Допол н и тел ьное к а вт. с вид- ву (22) Заявлено 17.1 L.80.(2I ) 3004432/4.8-2l 4 с присоединением заявки ¹ (23) Нриоритет Опубликовано 07.07.82,Бюллетень №25 Дата опубликования описания 09,07.82. (51)М. Кл. Н ОМ 37/23. 1Ъеударетиннмй квинтет CCCP ае делам кз...