Способ настройки электронно-оптической системы растрового микрозондового прибора
СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ц1) @ Н 01 J 37/24 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ f10 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЦТИЯМ ПРИ ГННТ СССР (21) 4034841/24-21 (22) 12.0?.86 (46) 15 ° 03.89. Бюл.,« 10 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.В.Рыбалко, и А.Н.Тихонов (53) 621.385.833 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР 11 928466, .кл. H 01 J 37/24, 1980. Патен...