Чувствительный элемент интегрального полупроводникового преобразователя
(19)SU(11)708891(13)A1(51) МПК 5 H01J27/20, H01J41/10(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ Изобретение относится к микроэлектронике, а более конкретно - к чувствительным элементам интегральных полупроводник...
