Способ формирования пленочных элементов на основе платины
Использование: электронная техника, в процессах формирования пленочных элементов микроэлектронных устройств. Сущность изобретения: при формировании пленочных элементов на основе платины производят нанесение на подложку с бескислородным диэлектрическим покрытием металлооксидного адгезионного слоя и слоя платины, фотолитографическое выполнение конфигурации элементов. Адгезионный слой нанося...