Способ изготовления интегральных механоэлектрических преобразователей из монокристаллического кремния
(19)SU(11)695418(13)A1(51) МПК 5 H01L21/18(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ Изобретение относится к электронике, преимущественно к технологии изготовления интегральных меха...