PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Категория

H01L21/385 - диффузия в твердую фазу из твердой фазы, или обратная диффузия, например процесс добавления присадок к окисному слою

Патенты в этой категории

Патент ссср  157440

Патент ссср 157440

  .;й 157440 .Клясс Н 01l; 21р, 11а СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ - - 1М:: !ля!1 Под22иснал группа Л 97 " СЫФ А. Г. Клименко СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛОСКОСТНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ За;влево 15 ноября 1962 г. за ¹ 802739)26-9 в Комитет по делам изобресен и и открытий при Совете Министров СССР Опубликовано в «Е!оплетсне изобретений и товарных знако...

157440

Способ изготовления кремниевых структур с диэлектрической изоляцией

Способ изготовления кремниевых структур с диэлектрической изоляцией

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ (КСДИ), включающий нанесение окисного слоя на полупроводниковую подложку, фотолитографию, выращивание тонкого термического окисла ..7Е/;---,,я, Hb/iHGT EiiA кремния, воздушную закалку, нанесение слоя золота и диффузию его в кремний, высокотемпературный отжиг в инертной среде , отличающийся тем, что, с целью ув...

897058

Способ изготовления пленочных структур

Способ изготовления пленочных структур

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР путем нанесения на подложку слоя оксидов переходных металлов и дополнительного слоя, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона используемых оксидов переходных металлов, дополнительный слой наносят в виде аморфного слоя трибксида вольфрама при температуре подложки со слоем оксида переходного металла равной 50-90°С и скорости...

1162352

Способ диффузии бора в кремниевые пластины

Способ диффузии бора в кремниевые пластины

 Использование: в электронной технике, например в производстве кремниевых приборов. Сущность изобретения: способ включает предварительное окисление в сухом кислороде пластин нитрида бора, расположенных в держателе перпендикулярно потоку газа, размещение кремниевых пластин в держателе посередине зазора между пластинами нитрида бора, последующую термообработку кремниевых пластин в атмосфере...

2183365