Метод изготовления самосовмещенной бикмоп структуры субмикронных размеров
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве БиКМОП структур для многоэлементных фотоприемников и радиосхем, использующих базовую технологию КМОП приборов. Эффект от использования способа заключается в повышении качества структуры биполярного транзистора - сохранении высокой эффективности эмиттера и коэффициента усиления по току при уменьшении ширины эм...