Периодическая структура из тонкопленочных связанных с приводом зеркал для оптических проекционных систем и способ ее изготовления
Структура относится к проекционным системам. Периодическая структура из М x N связанных с приводом зеркал для использования в оптической проекционной системе содержит активную матрицу, периодическую структуру из М x N упругих элементов, периодическую структуру из М x N пар рабочих структур, периодическую структуру из М x N зеркал и периодическую структуру из М x N пар поддерживающих элеме...