Резонансный полупроводниковый прибор на основе квантовых биений
Использование: в микроэлектронике, нанотехнологии и оптоэлектронике. Техническим результатом изобретения является увеличение быстродействия и снижение трудоемкости изготовления. Сущность изобретения: тонкопленочный нанокристаллический кремний, легированный атомами родия до создания примесных уровней в запрещенной зоне нанокристаллов кремния с энергиями 0.353 и 0.591 эВ от дна зоны проводи...