Способ изготовления гребенчатого преобразователя акустических поверхностных волн с перекрывающимися штыревыми электродами
(11 66582Ф ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Йоюз Советских Социалистических Республик ф.; ф R ПАТЕНТУ 1 (61) Дополнительный к патенту 1 (51) М. Кл,2 Н ОЗН 3/02 Н ОЗН 9/00 Н 01L 41/22 (22) Заявлено 09.08.74 (21) 2052087/23 (23) Приоритет — (32) 10,08.73 (31) 387561 (33) США (43) Опубликовано 30.05.79. Бюллетень № 20 (45) Дата опубликования описания 30.05.79 Государственный комитет сс...