Способ изготовления сверхпроводящего резонатора
Изобретение относится к ускорительной технике и предназначено для изготовления сверхпроводящих ускоряющих СВЧ-структур. Способ изготовления сверхпроводящего резонатора включает следующие операции: изготовление подложки из пластмассы, обладающей эффектом запоминания формы, нанесение на нее методом планарного магнетронного распыления слоя сверхпроводящего материала, а затем методом гальвано...
