"Общество с ограниченной ответственностью "НаноИмпринт" (RU)
"Общество с ограниченной ответственностью "НаноИмпринт" (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ изготовления нано-пресс-форм для контактной пресс-литографии (варианты)
Изобретение относится к области нанотехнологии для микроэлектроники. Способ заключается в том, что для каждого вида или типа повторяющегося элемента методом фокусированного ионного зонда изготавливают одну реплику в проводящем материале, на каждую реплику электрохимически наносят адгезивный слой, затем методом гальванопластики - слой металла толщиной 50-100 мкм для образования отдельной пресс-форм...
2308552