ЗЕОН КОРПОРЕЙШН (JP)

Изобретение относится к газу для плазменной реакции, его получению и использованию. Сущность изобретения: газ для плазменной реакции содержит перфторалкин цепочечной структуры, имеющий 5 или 6 атомов углерода, предпочтительно перфтор-2-пентин. Этот газ для плазменной реакции является пригодным для сухого травления с целью формирования прецизионной структуры, для плазменного химического осаждения и...

Изобретение относится к способу получения перфторалкинового соединения, включающему стадию добавления Сl2, Вr2 или I2 к соединению формулы (1) СН3С≡СR1 с получением соединения формулы (2) СН3СХ2СХ2R1, стадию фторирования соединения формулы (2) газообразным фтором с получением соединения формулы (3) СF3СХ2СХ2R2, и стадию дегалогенирования - взаимодействие соединения формулы (3) с металлом или мета...