НАЦИОНАЛЬНЫЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР "ХАРЬКОВСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ" (UA)

Изобретение относится к области вакуумно-плазменной обработке, в частности к устройству для вакуумно-плазменной обработки изделий, и может найти применение при изготовлении изделий с покрытиями. Устройство содержит рабочую камеру с анодом, сообщающуюся с ней, по крайней мере, через одно отверстие камеру с катодом и источник питания постоянного тока. Дополнительная камера с дополнительным анодом со...