ООО "ЛАБОРАТОРИЯ МИКРОПРИБОРОВ" (RU)
ООО "ЛАБОРАТОРИЯ МИКРОПРИБОРОВ" (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ измерения величины зазора в микромеханическом датчике
Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: определяют зазор на основе измерения электрической емкости между чувствительным элементом упругого подвеса и электродом. Первоначально измеряется величина электрической емкости между чувствительным элементом упругого подвеса и электродом в исходном положении чувствительного элемента. Затем чувствительный элемент перемещается до касания с его...
2324894