Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория микросистем" (ООО "ЛМС") (RU)

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: нагружают упругий подвес статическим усилием в области упругих деформаций. Измеряется электрическая емкость между чувствительным элементом и электродом системы съема перемещений. Затем на электрод подается электрический потенциал, при этом снова измеряется электрическая емкость между чувствительным элементом и электродом системы съема переме...