PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова Российской академии наук (RU), 119333, Москва, ул. Ленинский проспект, 59

Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова Российской академии наук (RU), 119333, Москва, ул. Ленинский проспект, 59 является правообладателем следующих патентов:

Установка для двухсторонней вертикальной очистки поверхности круглых пластин полупроводниковых и оптических материалов

Установка для двухсторонней вертикальной очистки поверхности круглых пластин полупроводниковых и оптических материалов

Изобретение относится к области производства пластин. Сущность изобретения: установка для двухсторонней вертикальной очистки поверхности круглых пластин полупроводниковых и оптических материалов содержит чистящие элементы, размещаемые по обеим сторонам обрабатываемой пластины, устройства для подачи моющего раствора на обе стороны обрабатываемой пластины, опорно-направляющий механизм для поддержки...

2327247