Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" ОАО "НИИПМ" (RU)

Изобретение относится к технике изготовления жидкокристаллических экранов. Технический результат изобретения заключается в повышении производительности, снижении стоимости и повышении качества разделения стеклопакетов на отдельные жидкокристаллические экраны. Стеклопакеты с предварительно выполненными линиями надрезания устанавливают в сетчатых поддонах и изолируют от внешней среды. Затем воздейст...

Изобретение относится к производству изделий электронной техники и может быть использовано для двухсторонней обработки пластин квадратной формы. Устройство для двухсторонней обработки пластин, например фотошаблонов, содержит установленные на основании разгрузочную и загрузочную кассеты, механизмы шагового перемещения их, первый и второй независимые транспортеры, блок двухсторонней гидромеханическо...

Изобретение относится к производству изделий электронной техники и может быть использовано для двухсторонней обработки стеклянных подложек квадратной или прямоугольной формы, используемых, например, в производстве при изготовлении фотошаблонов, а также жидкокристаллических экранов (ЖКЭ). Устройство содержит разгрузочную и приемную кассеты для подложек, установленные соответственно на механизмах...

Изобретение относится к технике индивидуальной обработки подложек и может быть использовано при производстве изделий электронной техники, в частности при отмывке и сушке стеклянных подложек для жидкокристаллических экранов, полупроводниковых пластин и фотошаблонов. Сущность изобретения: в способе отмывки и сушки подложек подложки ступенчато опускают в ванну отмывки деионизованной водой и сканирую...