Х.Ц. Щтарк, Инк. (US)

Изобретение относится к восстановлению распыляемой мишени из тантала и может быть использовано в производстве интегральных схем и других электрических, магнитных и оптических продуктов. Способ позволяет получить химически чистый и уплотненный тантал при более низких производственных затратах. Способ включает загрузку частиц порошка тантала в бункер, подачу субстрата-мишени в лазерную аддитивную ка...