Открытое Акционерное Общество "Подольский Химико-Металлургический Завод" (RU)
Открытое Акционерное Общество "Подольский Химико-Металлургический Завод" (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ выращивания полых цилиндрических монокристаллов кремния на основе способа чохральского и устройство для его осуществления
Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии выращивания профилированных монокристаллов кремния в виде полых тонкостенных цилиндров для изготовления эпитаксиальных цилиндрических (непланарных) структур мощных силовых полупроводниковых приборов. Способ заключается в том, что герметизируют и вакуумируют вакуумную камеру с расположенными в ней тепловым узлом и полой...
2355831