Скорова Галина Валериановна (RU)

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время диффузионной термообработки при изготовлении полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: кассета для групповой диффузионной обработки кремниевых пластин выполнена из трех поликремневых стержней, два боковых стержня размещены по бокам обрабатываемых в кассете кремниевых пластин, и один нижний стер...

Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин выполнена из четырех фторопластовых стержней, два боковых стержня размещены по бокам располагаемых в кассете полупроводниковых пластин и один нижний стержень, выполняющий роль дна кассет...

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания полупроводниковых пластин во время диффузионной обработки. Сущность изобретения: кассета для диффузионной обработки полупроводниковых пластин содержит четыре параллельных цилиндрических стержня с пазами. Верхний из стержней выполняет функцию крышки и расположен с возможностью крепления с противоположных торцов после размещения в к...

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания полупроводниковых пластин во время жидкостной обработки. Сущность изобретения: кассета для жидкостной обработки полупроводниковых пластин содержит четыре цилиндрические стержня, скрепленных по торцам в кассете и выполненных с пазами, продольные оси стержней параллельны между собой. Верхний из стержней выполняет функцию крышки и ра...