PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Взнуздаева Татьяна Кузьминична (RU)

Взнуздаева Татьяна Кузьминична (RU) является правообладателем следующих патентов:

Кассета для групповой диффузионной обработки кремниевых пластин

Кассета для групповой диффузионной обработки кремниевых пластин

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время диффузионной термообработки при изготовлении полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: кассета для групповой диффузионной обработки кремниевых пластин выполнена из трех поликремневых стержней, два боковых стержня размещены по бокам обрабатываемых в кассете кремниевых пластин, и один нижний стер...

2357319

Кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин

Кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин

Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин выполнена из четырех фторопластовых стержней, два боковых стержня размещены по бокам располагаемых в кассете полупроводниковых пластин и один нижний стержень, выполняющий роль дна кассет...

2357322