ООО "НИИ Радиоэлектроники и лазерной техники" (RU)

Дистанционный способ измерения толщины тонких пленок на поверхности материала заключается в облучении поверхности материала оптическим излучением на длинах волн зондирования λ1, λ2, λ3, λ4, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определении толщины пленки d по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала на длинах волн зондирования λ1, λ2, λ3, λ4, причем длины волн...