PatentDB.ru — поиск по патентным документам

НАНО ЮВ (FR)

НАНО ЮВ (FR) является правообладателем следующих патентов:

Способ и устройство генерации излучения в требуемом диапазоне длин волн и устройство для литографии на их основе

Способ и устройство генерации излучения в требуемом диапазоне длин волн и устройство для литографии на их основе

Изобретение относится к генерации излучения в заданном направлении и требуемом диапазоне длин волн. Способ генерации излучения в заданном направлении в требуемом диапазоне длин волн включает получение первоначального излучения с помощью источника излучения и фильтрацию первоначального излучения путем обеспечения управляемого распределения показателя преломления лучей в области управления. Фильтр...

2368967