ЛИТЕФ ГМБХ (DE)

Изобретение относится к микромеханическому, микроэлектромеханическому компоненту. Технический результат направлен на изготовления компонента, не требующего сложной производственной технологии, позволяющего надежно заключить в герметическую оболочку соответствующие активные структуры и вывести из компонента электрические контакты. Способ изготовления микромеханического, микроэлектромеханического...