Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (СПбГЭТУ "ЛЭТИ") (RU)

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии и может быть использовано при нанесении и исследовании тонкопленочных структур, в особенности в производстве и контроле полупроводниковых микросхем методом сухого травления. Сущность изобретения: устройство для контроля процесса сухого травления структурообразующего слоя микросхемы в вакуумной камере содержит источник светового излучения и систему...

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии и может быть использовано при контроле и диагностировании микропроцессорных систем. Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей автоматизированного устройства за счет возможности выявления недокументированных узлов и команд в микропроцессорной системе. Автоматизированное устройство для тестирования микропроцес...

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к фотометрии для контроля агрегационной способности частиц коллоидных систем в широких областях техники. Для осуществления способа проводят освещение анализируемой пробы когерентным излучением и выделяют поле наблюдения в пучке прошедшего через анализируемую пробу освещения с помощью апертурной диафрагмы, обеспечивающей наблюдение фрагмента...