Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН (ИСОИ РАН) (RU)

Изобретение относится к измерительной технике в области микроэлектроники и предназначено для измерения чистоты поверхности подложек. Способ заключается, в том, что наносят каплю жидкости на поверхность исследуемой подложки. Далее освещают ее потоком света с равномерным распределением интенсивности по сечению светового потока. Потом фиксируют интенсивность светового потока фотоприемной матрицей,...

Волоконно-оптическое устройство для измерения величины и направления поперечной деформации объекта включает в себя последовательно расположенные и оптически связанные между собой общий источник оптического излучения, несколько световодов с чувствительными элементами и приемник оптического излучения с электронным блоком обработки. При этом световоды объединены в кабель, содержащий три световода, з...

Устройство содержит три источника лазерного излучения и три соответствующих матричных устройства регистрации. Для повышения точности контроля оно снабжено тремя фазовыми элементами, каждый из которых выполнен в виде отражающей пластины с микрорельефом на его наружной отражающей поверхности, размещенной под углом к оптической оси лазерного излучения соответствующего источника, и имеющими возможнос...

Изобретение относится к планарным волноводам. Заявленный волновод содержит в нижней части конусный вырез высотой h<H, где Н - толщина волновода. При этом вводимое излучение распространяется от конусного выреза к краям волновода. Также заявленный волновод имеет в верхней части соосно конусному вырезу в нижней части второй конусный вырез, на который нанесено зеркальное покрытие. Заявленное устро...

Дифракционный оптический элемент представляет собой тонкую пластинку. На одну из поверхностей пластинки нанесен микрорельеф в виде круговой дифракционной решетки с прямоугольным профилем. Период дифракционной решетки близок к длине волны. Дифракционный оптический элемент выполнен из двух секций, расположенных по разные стороны от линии диаметра, перпендикулярной плоскости поляризации. Кольцевые з...

Изобретение относится к области оптической микроскопии и оптической микроманипуляции. Согласно способу перемещения группы непрозрачных микрообъектов формируют световой пучок с замкнутыми областями нулевой интенсивности из нескольких пучков. Сначала используют три соосных пучка Бесселя нулевого порядка с разными константами распространения, формируя устойчивый пучок в форме круглого пятна. Затем...