Институт физики Дагестанского научного центра Российской Академии Наук (RU)

Предложен способ синтеза керамики оксида цинка, предназначенной для использования в качестве керамических мишеней для магнетронного, электронно-лучевого и других методов нанесения прозрачных проводящих пленок. Спекание спрессованной смеси порошка оксида цинка с легирующими добавками, по крайней мере на первом этапе, производят при избыточном парциальном давлении цинка над парциальным давлением ки...