СИНГУЛУС ТЕКНОЛОДЖИЗ АГ (DE)
СИНГУЛУС ТЕКНОЛОДЖИЗ АГ (DE) является правообладателем следующих патентов:
Способ и устройство для управления толщинами слоя покрытия при нанесении центрифугированием
Продемонстрирован способ и устройство для распределения вязкой жидкости по поверхности подложки с высокой равномерностью в определенной области, а также способ изготовления подложки. Способ распределения вязкой жидкости содержит следующие этапы: подложку помещают по существу горизонтально на опору, наносят вязкую отверждаемую ультрафиолетом (УФ) жидкость на поверхность упомянутой подложки. Также...
2395348
Способ и устройство для быстрого нагревания и охлаждения подложки и немедленного последующего нанесения на нее покрытия в вакууме
Изобретение относится к способу и устройству для нанесения покрытия на горячую подложку в вакуумной камере. Осуществляют размещение подложки (20) на подложкодержателе (24) таким образом, чтобы нижняя поверхность (21а) подложки контактировала с подложкодержателем поверхность к поверхности,подъем подложки (20) на расстояние d относительно подложкодержателя, нагрев поднятой подложки через ее верхню...
2550464
Нанесение на подложки легированного слоя посредством катодного распыления
Изобретение относится к способу и устройству для нанесения на подложку сплава, состоящего из одного первого и одного второго материала в качестве компонентов сплава с переменным их соотношением и к мишени для нанесения на подложку сплава. Мишень изготавливают посредством катодного распыления и содержит по меньшей мере один первый и один второй материал в качестве компонентов сплава. Повер...
2574553