Физико-технический институт Уральского отделения Российской академии наук ФТИ УрО РАН (RU)

Изобретение может быть использовано для хранения и дозированной подачи инертных или химически активных газов в вакуумные камеры любых приборов - аналитических, исследовательских, например в вакуумные камеры спектрометров. Система напуска газа включает заполняющую магистраль, соединенную через клапаны с высоковакуумной и форвакуумной откачными магистралями и с баллонами, и средства прогрева. Балло...

Изобретение относится к области электротехники, в частности к устройству подготовки поверхности образца и камеры для последующих воздействий и анализа, и может быть использовано в высоко- и сверхвысоковакуумных установках для анализа или исследования твердых тел. Техническим результатом изобретения является повышение качества подготовки образца для исследований. Устройство для подготовки образца...