ФГУП "НПК ГОИ им. С.И. Вавилова" (RU)

Изобретение относится к источникам УФ и ВУФ излучения на основе барьерного разряда в инертных газах и их смесях с галогенами. Лампа барьерного разряда содержит планарную диэлектрическую оболочку с окном для вывода УФ или ВУФ излучения, наполненную рабочим газом, смесью газов или смесью газа с парами рабочего вещества, два металлических наружных электрода, при этом основная рабочая область оболочк...