ФГБОУ ВПО Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (RU)
ФГБОУ ВПО Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (RU) является правообладателем следующих патентов:
![Способ ионной имплантации Способ ионной имплантации](https://img.patentdb.ru/i/200x200/ea1f62fed40f9e98ff060b891d6084ae.jpg)
Способ ионной имплантации
Изобретение может быть использовано в электронике, в частности в технологии изготовления полупроводниковых приборов на карбиде кремния, а также в области модифицирования поверхности ионной имплантацией для получения износо- и коррозионно-стойких материалов. Способ ионной имплантации включает создание плазмы внутри рабочей камеры и подачу импульсного ускоряющего напряжения, согласно изобретению им...
2403646