ШМИД ТЕКНОЛОДЖИ СИСТЕМЗ ГМБХ (DE)

Изобретение относится к нанесению тонкого слоя жидкости на элементы, в частности для фотоэлектрического применения. Сущность изобретения: устройство (10) для нанесения равномерного тонкого слоя жидкости, в частности фосфорной кислоты, на субстраты (12), в частности на кремниевые элементы для фотоэлектрического применения, имеет технологическую камеру (14), содержащую сосуд (16) для жидкости и выс...