Общество с ограниченной ответственностью "Полупроводниковые кристаллы" (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "Полупроводниковые кристаллы" (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ выращивания монокристаллов карбида кремния
Изобретение относится к технологии выращивания монокристаллов конденсацией испаряемого или сублимируемого материала и может быть использовано в полупроводниковой промышленности. В ростовой камере, снабженной теплоизоляцией, размещают параллельно одна напротив другой испаряющуюся поверхность поликристаллического карбида кремния и ростовую поверхность затравочного кристалла. Ростовую камеру нагрева...
2411195