Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ) (RU)

Изобретение относится к области электронного приборостроения, а более конкретно - к конструкции детекторов электронов, и может найти преимущественное использование в электронных микроскопах. Детектор электронов выполнен в виде двояковыпуклого оптически прозрачного диска с коническим углублением по его центру, при этом поверхность диска, обращенная к пучку детектируемых электронов, имеет покрытие...