Кварацхели Юрий Константинович (RU)

Изобретение может быть использовано в производстве полупроводников, микроэлектронике и солнечной энергетике. Способ получения моносилана включает взаимодействие гидрида кальция с газообразным тетрафторидом кремния в эвтектическом расплаве хлоридов лития и калия при 360-390°С и очистку моносилана на гранулированном фториде натрия, цеолите и угле. Устройство для непрерывного получения моносилана вк...