Общество с ограниченной ответственностью "НИИ Радиоэлектроники и лазерной техники" (RU)

Настоящее изобретение касается способа измерения толщины и показателя преломления тонких прозрачных покрытий на подложке. Заявленный способ включает облучение контролируемого покрытия оптическим излучением. При этом перестраивают в узком спектральном диапазоне длину волны падающего на контролируемое покрытие излучения. Далее регистрируют отраженные от покрытия потоки излучения, определяют зависим...