НОРСРОП ГРУМАН ЛИТЕФ ГМБХ (DE)

Изобретение относится к микроэлектромеханическим датчикам, используемым в качестве кориолисовых гироскопов. Датчик (30) содержит по меньшей мере один подвижный электрод (29), электродную систему (311-314), отстоящую на некотором расстоянии от электрода (29) и содержащую электроды, выполненные с возможностью раздельного управления и подачи на них соответствующих электродных сигналов (uo1, uo2, uu1...

Изобретение относится к микромеханическим, микроэлектромеханическим (МЭМС) и микрооптоэлектромеханическим (МОЭМС) элементам, а также способам их изготовления. Сущность изобретения: в способе изготовления элемента, в частности микромеханического, микроэлектромеханического или микрооптоэлектромеханического элемента, изготавливают первую сборку слоев, включающую первую подложку, на которую нанесен п...

Изобретение относится к способу эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика. Датчик содержит по меньшей мере один дифференциальный конденсатор, образованный двумя неподвижными электродами, между которыми упруго подвешен с возможностью смещения под действием внешней силы, которое может быть измерено, и подвижный центральный электрод. Способ эксплуатации емкостного датчика, согласно к...

Датчик скорости вращения содержит подложку и две структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600), выполненные с возможностью перемещения относительно подложки на рабочей плоскости (х-y). Две подвижные структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600) соединены, чтобы формировать связанную структуру, такую, что она имеет первую моду колебаний с отклонениями в противофазе подвижных структур в первом направлении (х...

Изобретение относится к Кориолисову гироскопу, имеющему конструкцию, содержащую подложку (5, 22, 24, 26), по меньшей мере две отдельные структуры (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) и упругие элементы (например, 1, 2, 3, 21, 23, 25), которые связывают отдельные структуры (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) с подложкой (5, 22, 24, 26) и между собой, используя датчики силы (например, 514, 614, 71...