Ахмедов Ахмед Кадиевич (RU)

Изобретение относится к технологии изготовления микросхем и микроэлектромеханических приборов. Сущность изобретения: способ изготовления микроприбора включает процедуры, в которых структуру прибора или его части формируют в одном материале, а затем преобразуют (конвертируют) этот материал в другой материал путем химического или структурного преобразования. Предложен, например, способ изготовления...