Ратушный Владислав Петрович (RU)
Ратушный Владислав Петрович (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ формирования топологического изображения в пленке хрома
Изобретение относится к фотолитографии и может быть использовано в микроэлектронике. Технический результат изобретения заключается в получении изображения заданной топологии за счет существенного различия скоростей травления кристаллических и аморфных участков хрома в химическом травителе. Сущность изобретения: способ формирования топологического изображения в пленке хрома включает в себя этапы:...
2442239