Жданов Глеб Сергеевич (RU)

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и может быть использовано для неразрушающего послойного тестирования образцов, в частности изделий микро- и наноэлектроники. В изобретении используется способность обратнорассеянных электронов (ОРЭ) вызывать осаждение молекул остаточных углеводородов, адсорбированных на поверхности образца. При облучении образца стационарным сфокусированны...