ФГУП "Российский научный центр "Прикладная химия" (RU)
ФГУП "Российский научный центр "Прикладная химия" (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ получения высокочистого моносилана и тетрахлорида кремния
Изобретение относится к технологии неорганических соединений. Способ получения высокочистого моносилана и тетрахлорида кремния проводят двухстадийным диспропорционированием хлорсиланов на анионообменной смоле. На первой стадии проводят диспропорционирование трихлорсилана, предварительно очищенного от тетрахлорида кремния в первой ректификационной колонне, с получением преимущественно дихлорсилана...
2457178